Advances in resist technology and processing XII - 20-22 February 1995, Santa Clara, California
- Författare
- (Robert D. Allen, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1995 | USA | 2 vol. | ||
| Cop. 1995 | USA | xiii, 512 sidor. | 0-8194-1786-6 | |